Giới thiệu chung
Ngày nay, công nghệ và khoa học có những tiến bộ và phát triển vượt bậc. Trong ngành vật liệu, công nghệ nano được đề cập đến nhiều nhất vì những ứng dụng của nó ngày càng sâu rộng. Để phục vụ cho khoa học nano, thiết bị không thể thiếu đó là kính hiển vi điện tử EM (Electron Microscope).
Kính hiển vi điện tử là loại kính hiển vi sử dụng chùm điện tử để chiếu vào mẫu và tạo ra hình ảnh phóng đại lên đến 10,000,000 lần vì việc sử dụng nguồn electron có bước sóng ngắn.
Có 2 loại kính hiển vi điện tử phổ biến nhất đó là kính hiển vi điện tử quét SEM và kính hiển vi điện tử truyền qua TEM.
Tài liệu SEM, EBSD và TEM vui lòng xem tại phần Tải tài liệu
Chuẩn bị mẫu cho kính hiển vi điện tử
1 số phương pháp phổ biến:
– Đóng khối và cắt lát
– Nghiền ion
– Phủ dẫn điện
và 1 số phương pháp khác.
Yêu cầu về chất lượng mẫu TEM và SEM
Mẫu TEM: yêu cầu bề dày của mẫu đạt được nhỏ hơn 30um và cấu trúc mẫu không bị biến dạng. Kích thước mẫu khoảng 30mm đường kính
Mẫu SEM: không yêu cầu quá mỏng nhưng bề mặt phải được đánh bóng với kết quả cuối cùng hoàn toàn không có vết xước và biến dạng. Kích thước mẫu khoảng 1cmx1cmx1/2cm. Bề mặt nên có tính dẫn điện.
Một số bước chuẩn bị mẫu cho TEM điển hình và cấp độ thiết bị Buehler có thể đáp ứng (màu xanh)
|
Cắt lát mỏng ra khoảng 0.5mm
|
Làm mỏng mẫu đến 120um
|
Lấy diện tích mẫu khoảng đường kính 3mm
|
Làm mỏng tiếp đến độ dày khoảng 50-100 um với hạt mài grit 1200
|
Sau đó làm mỏng hay thủng mẫu bằng phương pháp điện hoá hay bắn ion
|
Làm sạch, sấy khô và có thể cắt lại bằng máy cắt siêu âm
|
Một số bước chuẩn bị mẫu cho SEM điển hình và cấp độ thiết bị Buehler có thể đáp ứng (màu xanh)
|
Cắt mẫu rất nhỏ
|
Đúc mẫu
|
Mài và đánh bóng cơ học
|
Đánh bóng rung
|
Phủ chất dẫn điện
|
Ứng dụng
– Công nghệ sinh học và khoa học đời sống
– Nghiên cứu vật liệu
– Công nghiệp điện tử, chất bán dẫn và các thiết bị vi mạch
– Công nghệ đo lường nano.